潔凈室竣工驗收工作完成后，一般應(yīng)由具有相關(guān)資質(zhì)或相關(guān)授權(quán)、具有潔凈室檢測經(jīng)驗、擁有完備的計量檢定合格的儀器、儀表的第三方來主持潔凈室的檢測工作。建設(shè)方、設(shè)計、施工、監(jiān)理單位應(yīng)在現(xiàn)場配合，以完成對潔凈室的綜合性能評價。
潔凈室綜合性能評價具有兩方面的功能：
（1）由第三方主持驗證新建或改建的潔凈室是否達(dá)到設(shè)計要求，能否正常運行并滿足所規(guī)定的污染控制標(biāo)準(zhǔn)，其結(jié)論較竣工驗收報告更具有公正性。
（2）所測定的潔凈室的初始性能，將作為該潔凈室性能的“基準(zhǔn)”。將來不論是例行檢測還是出現(xiàn)問題時進(jìn)行的測試，均可得到與初始測試結(jié)果的偏差。由此便于找出潔凈室性能不達(dá)標(biāo)或出現(xiàn)其它問題的原因。
1、ISO-14644所規(guī)定的檢測項目

2、NEBB所規(guī)定的檢測項目
美國國家環(huán)境平衡局NEBB關(guān)于潔凈室性能測試所規(guī)定的測試項目如下：
（1）氣流速度和均勻性測試。
（2）高效空氣過濾器裝置的檢漏測試。
（3）房間塵粒數(shù)測試。
（4）隔斷壓差。
（5）溫、濕度均勻性測試。
（6）噪聲及振動測試。
（7）照度及均勻性測試。
（8）自凈測試。
（9）電導(dǎo)率測試。
（10）粒子沉積測試。
（11）靜電測試。
3、國內(nèi)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的測試項目
國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001《潔凈室廠房設(shè)計規(guī)范》及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JGJ71-90《潔凈室施工及驗收規(guī)范》所規(guī)定的潔凈室測試項目如下表：